2006 年 全新高精度產品 Carl Zeiss F25 應用於微積電、精密齒輪、光學元件 … 等微小重要零組件，精度可達 250nm ，解析度： 7.5nm ，更可使用微小探針至： 5 0 μ m ，並結合接觸式與影像式量測，發揮到全功能性量測。 • 系統不確定度可達 0.25um • 探針直徑： 50~700um • 量測壓力小於 0.5mN/um • resution ： 0.0075um
原廠資料連結 歡迎來電洽詢
三次元座標量床 / 龍門式 / 
