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全彩+共軛焦+高速掃描：
- 嶄新的掃描技術將不可能化做完美，加上蔡司引以為傲的光學系統，提供1.25x~150x豐富的物鏡組合，滿足業界最嚴苛的需要。
- 全彩共軛焦影像的取得，代表著表面分辨能力的再提昇，包括同色異相及同相異色的樣品差異，也能進行區分。觀察及量測也不再有色彩的死角。
- 而獨特的Wireframe技術高達117 fps的速度，則能讓量測時間大幅縮短至一分鐘以內。
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非探針量測 +非雷射光源 +非機械掃描：
- 使用光做為量測工具，可以達成更高段差、更複雜表面的工件分析，以聲波控制技術來進行光學掃描，其間沒有機械耗損或老化的問題存在，提昇您所在意的精密度與穩定度，儀器壽命更是大幅延長，維護的成本也大為降低。
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免製備+小體積+簡易操作：
- 由於是使用共軛焦技術為基礎，樣品並不需要經過特別的製備，亦不需要特別的擺放環境(如真空)，內建的防震腳可以吸收多數低波的振動，因此即使設置地點有其他震動源，依然不受影響。
小巧的體積加上直覺式的操作，即便第一次使用也能很快上手，加上3D全方位掃描，只需一次採圖，便能獲得多種尺寸資料，包括體積、面積、高度差、粗糙度等。
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3D量測+地誌分析+表面分析：
- 對於您所從事的高科技產業，是否覺得一維及二維的profile已不敷所需，具有高精密特性的共軛焦影像(達160 nm分辨率)，所重建的三維模型，將您的工件表面情況真實再現。透過一定的校正程序，這樣所量測的數據是能完全和原先2D所取得的資料相印證的。
- 本產品的軟體亦內建多項ISO及EN測量準則，配合原廠材料樣本資料庫，只需要上機，就能輕鬆得到您所需要的可靠數據資料。
- 另外，重建模型的差異性分析，將能協助疊合比較兩組樣品，更加確保您的品管控制是全方位性的。
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