PENTAX WLI 3020 表面輪廓解決方案
自動拼接 ｜ 自動測量
可自動拼接測量，具有鏡頭防護保護、真空吸附台、聲波隔振防護、干涉物鏡、水準調整裝置及雙通道氣浮隔振系統。
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▪ 鏡頭防撞保護軟體 Z Stop 和硬體電子感測器雙重保障，並提供外接防撞電子信號。 ▪ 真空吸附台專為半導體晶圓定制的真空吸附台，確保樣品在測量過程中不受空氣擾動的影響。 ▪ 聲波隔振防護儀器外殼與內部運動機構採用分離式設計，將有效隔離聲波振動的傳導，提高精準度。 ▪ 干涉物鏡不同倍率的鏡頭，適用於從超光滑到粗糙各種表面類型的樣品。 ▪ 水準調整裝置傾斜調整旋鈕，調整條紋間距，提高 3D 影像的重建精度。 ▪ 雙通道氣浮隔振系統外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統，可有效隔離地面傳導的振動雜訊。 |
產品特色
▪ 粗糙度測量
從 0.1nm 等級到數十 µm 等級的粗糙表面儀器均能實現高精度測量，支持 ISO/ASME/EUR/GB 等國內外標準。▪ 圖像拼接
支援數千張區域圖像拼接，可根據需求選擇高精度模式或快速模式。▪ 範本測量
支援預配置資料處理與分析流程，一鍵完成指定區域的自動測量與分析。▪ 輪廓尺寸測量
支持奈米級別的階高和微米級別的平面尺寸測量，包含角度、曲率等。▪ 自動化
支援以自訂間距或不規則間距範本，以執行多區域自動定位測量與分析。應用案例
▪ 半導體製造・IC 晶圓研磨 |
▪ 半導體製造・晶圓 IC 晶片 |
▪ 超精密加工 |
▪ 光學・透鏡類零件
▲光學透鏡類零，接需對曲率半徑；粗糙度及表面瑕疵等進行測量分析。 |