三次元多測頭應用
為了增加三次元的量測功能,Zeiss除了基本的接觸式量測之外,另外可以同時使用影像及紅外線掃描量測,讓客戶能在同一個操作軟體之下使用不同的量測方式,減少操作者對於學習軟體上的負擔以及三次元的稼動率,另外也減少空間的使用。
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VAST XXT可進行接觸式掃描
最小可使用0.3 mm探針

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ViScan可進行投影式量測
屬二維量測

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LineScan可做表面量測
可作逆向及表面比對



 
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